·最高烘烤温度：150℃，空箱升温至额 定温度时长≤20 min
·极限真空度：≤600Pa（绝压）
·有效抽气速率：15~80 m³/min
·腔体温度均匀性：整腔温差 ≤ ±3 ℃
·判定：进出口残余湿度闭环检测
