·行程：1800*1800；
·探头数量：点聚焦8；
·检测精度：0.01m缺陷；
·判定方式：自动判定

·极限真空度：绝压≈300-500Pa
·有效抽速：8~40 m³/min
·升温：最高 80℃，空管升温至 设定温度时间≤2 min
·节拍：根据产品容积按需定制

·最大保压压力： 15Mpa
·保压时间最大48h，
·检测精度 ：0.2%F.S
·检测方式：起始压力-结束压力
·检测介质 ：纯水

·最大额定充氮保压压力：<3MPa
·可编程保压时长：0~48 h 任意设定
·压力 & 泄漏检测精度：±0.1% F.S （满量程）
·判定方式：固定时长保压，通过起始 压力 -终止压力压降差值 判定泄漏合格性

·最高烘烤温度：150℃，空箱升温至额 定温度时长≤20 min
·极限真空度：≤600Pa（绝压）
·有效抽气速率：15~80 m³/min
·腔体温度均匀性：整腔温差 ≤ ±3 ℃
·判定：进出口残余湿度闭环检测

·清洗工艺：脉冲循环清洗 + 正反双向交替冲洗
·系统流量范围：2~30 L/min（支持按需定制放 大流量）
·在线监测：水质电导率差值监测、pH 值实时监 控、管路出口颗粒物粒径 + 数量分 级检测
·行业合规：可满足液冷板行业50μm 及以 上颗粒物残留管控出厂标准

·额定流量量程：0.5~80 L/min（支持非标定制）
·流量控制精度：±0.5% F.S（满量程）
·流量调节方式：伺服变频闭环控制，稳态流量无波动
·压差测量范围：50~600 kPa
·压差测量精度：±0.075% F.S
·系统耐压上限：1.0 MPa，具备超压自动保护功能
·测试介质温度范围：20~60℃（覆盖常规工况，可拓展至 5~85℃）
·温度控制精度：±0.5℃
·适配介质：去离子水、乙二醇水溶液

·测试压力范围：0~4 MPa 连续无级可调
·压力测量精度：±0.1% F.S（满量程）
·标准支持压力单位：kPa、kg/cm²、psi、 mbar、bar、MPa、mmHg、mmH₂ O
·标准泄漏判定单位：Pa、Pa/s、mL/min、 L/min、SCCM、mbar・L/s
·测试模式：耐压测试、稳态保压泄漏双模式